Pooljuhtide tootmine on tööstuslik protsess, mis nõuab äärmist täpsust, tuginedes ülipunktist vett, mis ulatub tuumaetappidest nagu vahvli puhastamine, fotolitograafia, söövitus ja keemiline mehaaniline tasapind (CMP). Mikroelektroonikatööstuse kõrge puhtusastmega veesüsteemid peavad vastama rangetele kriteeriumidele, sealhulgas vastupidavus, mis on suurem kui 18,2 MΩ · cm ja kogu orgaaniline süsinik (TOC), mis on vähem või võrdsed 1 ppb. Kõik jääkiioonid või osakesed võivad vähendada kiibi saaki. Kasutades oma globaalselt juhtivat keraamilist membraanitehnoloogiat ja kogu membraanset protsessi, Taihe keskkonnakaitse pakkuminees väga stabiilsed lahendusedpooljuhtide pöördosmoosisüsteemS, veekvaliteedi turvalisuse tõhusalt toetamine kodumaistes pooljuhtide tarneahelates.
Kogu membraanse protsessi tehnoloogiline läbimurre
Taihe põhitehnoloogia-"kogu membraanne protsess pöördosmoosi kontsentraadi ja ringleva reovee ringlemiseks"-oli Hiina membraanitööstuse assotsiatsiooni poolt kinnitatud kui "rahvusvaheliselt arenenud tase". See tehnoloogia kasutab spetsiaalseid torukujulisi keraamilisi ultrafiltratsioonimembraanmembraani (GM) üksusi, et asendada kolme tavapärase ravieelse etapi ("Leelise sademed + liivafiltratsioon + orgaaniline ultrafiltratsioon") ühe protsessi käigus, lihtsustades oluliselt töövooge, suurendades samal ajal antifoulimisvõimalusi. Nanokomposiitidest valmistatud keraamilised membraanid avaldavad reostuskindlust, tugevat leelise tolerantsust ja kõrget voogu. Ultrapuurvees pooljuhtide tootmiseks vähendavad need oluliselt tegevuskulusid ja vähendavad heitvee kõvadust.
Rakenduse kaitsemeetmed võtmeprotsessi etappides
- vahvlipuhastus ja CMP:Ultra-Puur Water Pöördosmoosi süsteem peab vahvli pinna defektide vältimiseks täielikult eemaldama osakesed ja metalliioonid. Taihe keraamiline membraani eeltöötlus peatab tõhusalt osakesed, mis on suuremad kui 0. 1 μM, pakkudes madala SDI (mudatiheduse indeks) söödavee järgneva pooljuhtide pöördosmoosi süsteemide jaoks, tagades pikaajalise stabiilse RO membraani toimimise.
- Fotoresisti loputamine:Fotolitograafia on TOC suhtes väga tundlik. Taihe süsteem sünergiseerib ultraviolettkiirguse steriliseerimisega keraamilisi membraane, et kontrollida TOC-d 1 PPB piires, vastates orgaanika nulltolerantsi nõudele fotoresistide loputamisel.
- Söövitus ja CMP reovee taaskasutamine:For high-turbidity CMP wastewater, its ceramic membrane units demonstrate strong impact resistance, treating high-salinity wastewater with hardness >1200 mg\/L 95% taastumismäära juures, vähendades drastiliselt magevee tarbimist.
Intelligeerimine ja rohelised vähese süsinikusisaldusega tavad
Taihe integreerib DCS (hajutatud juhtimissüsteem) suuremahulised integreeritud juhtimissüsteemid ultrapuurveepuhastussüsteemi, võimaldades vee kvaliteedi parameetrite reaalajas jälgimist ja energia optimeerimist. Selle "kogu taaskasutatud vee taaskasutamise seadmete membraanne protsess" oli loetletud Shandongi provintsi rohelise vähese süsinikusisaldusega tehnoloogiakataloogis, vähendades süsinikuheiteid sujuvates protsessides, mis vastavad pooljuhtide sektoris säästva arengu vajadustele.
Järeldus
Kui edasijõudnute protsessid (nt 5NM, 3NM) eskaleeruvad veekvaliteedi nõuded,pooljuhtide pöördosmoosisüsteemS peavad puhtuse piire pidevalt suruma. Tuginedes oma "rahvusvaheliselt arenenud" keraamilisele membraanitehnoloogiale, kiirendab Taihe teadus- ja arendustegevust kõrge vooluga keraamiliste ultrafiltratsioonimembraanide korral elektrooniliste kõrge puhtusastmega veerakenduste jaoks, lihtsustades veelgi eeltöötlemist ja suurendades tootevee tõhusust. Tulevased uuendused annavad Hiina pooljuhtide tarneahelale võimaluse, luues mikroelektroonikatööstuse kõrge puhtusarja veesüsteemide usaldusväärsemad, madalama süsinikusisaldusega tehnoloogilised võrdlusalused.